處理(li)(li)工藝:氮氧(yang)化物濃(nong)度較(jiao)高(gao)的(de)采用四級串(chuan)聯(lian)高(gao)濃(nong)度酸(suan)霧凈(jing)化塔(ta)，添加(jia)(jia)氫氧(yang)化鈉、硫化鈉進(jin)行洗滌處理(li)(li);氮氧(yang)化物濃(nong)度較(jiao)低的(de)采用兩級串(chuan)聯(lian)酸(suan)霧凈(jing)化塔(ta)，添加(jia)(jia)氫氧(yang)化鈉進(jin)行洗滌處理(li)(li)。

主(zhu)要特點:凈化效(xiao)率高，結(jie)構緊湊，耐腐蝕，耐老化性能好,自(zi)動化控制，操(cao)作簡單，廣泛應用(yong)于太陽能、電(dian)子(zi)半導(dao)體等行業。

PECVD設備(bei)尾氣主要包含硅烷SiH及氨氣NH等。

處理工藝(yi):不銹鋼燃燒筒一不銹鋼硅烷燃燒洗滌塔氨氣洗滌塔+離心風機。

主要(yao)特點:硅烷去除(chu)率高(gao)， 氨氣及其他水溶(rong)性氣體凈化率高(gao)，占地面積小，耐腐蝕，便于維(wei)修(xiu)。