我公司(si)生產的(de)TXRS型不銹鋼硅(gui)烷(wan)燃燒洗滌塔是處理硅(gui)烷(wan)、氨氣(qi)(qi)(qi)及其他可溶性氣(qi)(qi)(qi)體的(de)廢氣(qi)(qi)(qi)凈化(hua)設(she)備，主(zhu)要用(yong)于處理太(tai)陽能電池生產線行業以及PECVD化(hua)學氣(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉積工藝所產生的(de)廢氣(qi)(qi)(qi)。

本(ben)產品在結構上主要由不(bu)銹(xiu)鋼殼(ke)體、燃燒系統(tong)(tong)、洗滌系統(tong)(tong)和(he)清渣系統(tong)(tong)組成。在進氣(qi)(qi)方(fang)(fang)面(mian)采用(yong)(yong)(yong)(yong)壓(ya)縮空氣(qi)(qi)加新風進氣(qi)(qi)口雙(shuang)進風形式(shi)，提高產品運行效率(lv)和(he)可靠(kao)性(xing)。在噴淋系統(tong)(tong)方(fang)(fang)面(mian)，采用(yong)(yong)(yong)(yong)循環水(shui)泵與(yu)自動補水(shui)相結合的(de)方(fang)(fang)法，風機采用(yong)(yong)(yong)(yong)一(yi)(yi)用(yong)(yong)(yong)(yong)一(yi)(yi)備形式(shi)，這些工(gong)(gong)藝特(te)點使得(de)本(ben)產品在安全可靠(kao)性(xing)方(fang)(fang)面(mian)得(de)到極大(da)保證。內(nei)部(bu)燃燒室采用(yong)(yong)(yong)(yong)特(te)殊的(de)泄壓(ya)裝置(zhi)，即使在內(nei)部(bu)壓(ya)力突然增(zeng)大(da)的(de)情況下(xia)仍能正(zheng)常工(gong)(gong)作，同(tong)時配(pei)備了氮氣(qi)(qi)入(ru)口，更(geng)加大(da)了設(she)備的(de)安全性(xing)。在粉(fen)塵收(shou)集(ji)方(fang)(fang)面(mian)采用(yong)(yong)(yong)(yong)靜(jing)壓(ya)沉積的(de)方(fang)(fang)法，沉積下(xia)來的(de)粉(fen)塵通過排渣口排出，這使粉(fen)塵收(shou)集(ji)處理(li)變得(de)更(geng)容易、更(geng)有效。經權威部(bu)門(men)實(shi)測，客戶單位(wei)硅烷(SiH4)去除率(lv)≥99.99%，氨氣(qi)(qi)(NHs)以及其它水(shui)溶性(xing)氣(qi)(qi)體的(de)凈化率(lv)高達99.99%。